是以罗茨泵为主泵，以水环泵为前级泵串联而成的，选用水环泵作为前级泵比其它真空泵更为有利，它克服了单台水环泵使用时极限压力差（机组的极限压力比水环泵有很大的提高），在一定压力下抽气速率低的缺点，同时保留了罗茨泵能迅速工作，有较大抽气速率的优点。 是以罗茨真空泵为主泵，以油封机械真空泵或液环真空泵为前级泵的低、高真空获得设备，整套机组安置在一个机架上，配以管道、阀门和电器操作控制箱，具有结构紧凑，使用方便的优点。